(高速版图设计可视化和光刻分析)
概述
IC WorkBench(ICWB)是一款功能强大的层次化版图设计可视化和分析工具,具有GDSII/OASIS查看、版图编辑、以及高速光刻仿真和分析功能。IC WorkBench设计可用于解决各种光刻应用程序,包括掩膜综合流程开发、OPC模型开发及校准、光刻验证错误分析、设计规则创建和确认、关键单元的良品率和可制版性优化,以及新流程开发。
IC WorkBench提供了在各种参数及流程条件下的硅片成像特性的相关定性和定量信息。
先进的可用性特色
IC WorkBench采用了最新的用户接口技术。这些技术设计用于让各项强大的ICWB功能更加易于使用,也更加直观。这些关键特色包括:
- 支持用户和工作地点级定制
- 视图管理器
- 对所有对象的层次化文件夹表示方式,包括版图、量规、轮廓、空间像以及模型
- 环境自适应的气泡式在线帮助
- 类似于浏览器的向前和向后查看历史记录
- 撤消操作和重复操作
- 可提供丰富的环境点击信息,例如来自单元或多边形的层次信息
- 采用高速缓存文件快速载入GDSII
- 为绝大多数命令提供了可由用户配置的热键
- 可由用户定制的工具栏
- 用于运行用户创建宏的定制按钮
a. 更快、更强的察看和编辑功能
ICWB在高速GDSII/OASIS查看和编辑工具的基础上开发而来,能够处理好各种先进制程世代下愈来愈庞大的文件体积。ICWB可在几分钟内载入数以千兆字节计的数据,同时,工作于64位平台上的ICWB对操作的文件不限制大小。
b. 功能强大的标准Tcl/Tk脚本化命令语言
ICWB的命令和函数均采用应用广泛的标准Tcl脚本化语言进行构建。
此外,为给资深设计用户提供支持,该命令语言可以通过Socket接口进行调用。这个Socket接口可以与其它工具之间实现类似于API的连接功能,可用于开发更为高级的定制应用程序和流程。
c. 精确的可编程光刻仿真功能
ICWB能够读取各种业界领先的高度精确的Progen模型文件,确保了实现精确而快速的仿真。Progen模型是在全体Synopsys DFM工具套件内广泛运用的标准Synopsys光刻仿真模型,能够确保在整个DFM流程内实现出色的关联度和仿真闭合。
d. 用于掩膜综合和光刻验证的通用分析工具
IC WorkBench可作为Synopsys DFM工具套件通用的集中化交互式分析工具。
e. 掩膜综合流程开发
IC WorkBench提供了掩膜综合流程和模型在开发、认证以及生产运行中所需要的各种关键功能。IC WorkBench能够直接连接Proteus Recipe Debugger并同步运行,提供了强大的交互式程序调试能力。
f. 经生产验证过的技术
自180纳米技术开始,到先进的45纳米技术以及更高端的制程世代,ICWB得到了全世界各大半导体制造商广泛的生产验证。