CATS™是用于光掩模制造数据处理的全套解决方案.几乎在世界上每一处光掩模制造生产厂商都得以采用，实际已经成为掩模制造数据处理的标准。CATS作 为一项功能强大而灵活的软件包，具有可扩展的分布式多机并行处理能力，配备直观及先进的图形软件包，品质可靠，支持所有的顶尖掩模制造形式。
主要优点：
- 提供半导体光掩模制造领域最为先进和功能全面的数据处理软件。其应用范围包括检验、测量和晶圆直接写入
- 同类产品中功能最为强大和灵活的软件包
- 支持设计数据的结构层次处理，具备与每种引擎格式极好的兼容性
- 可扩展的分布式多机处理功能将光学近似纠正(OPC)数据切割成若干部分并行处理，从而缩短了数据处理时间
- 将生产制造时间减少到最短，最大程度地提高了当今高端掩模的品质
- 为当今最为严峻的制造挑战提供尖端的解决方案